TEM cube多用途樣品清潔及儲存腔室是高真空 TEM 樣品架儲存、泄漏檢查和等離子體清潔室

TEM cube多用途樣品清潔及儲存腔室可用于在高真空下存儲多達 8 個 TEM 樣品架（極限真空在 10 -7 Torr 范圍內(nèi)）。真空度足夠高，可以檢查原位 TEM 芯片的泄漏。它還可以配備遠程 EM-KLEEN 等離子源，以在腔室中進行等離子清潔。腔室的大小為 9 英寸立方。它可以擬合相當大的 TEM 和 SEM 樣品和組件。房間有一個玻璃前門用于觀察。

標準泵送配置是將腔室直接放置在 Pfeiffer 渦輪分子泵站的頂部。但也可以使用干式渦旋泵對腔室進行泵送。

與我們的常規(guī) TEM 樣品架真空儲存站相比，TEM cube多用途樣品清潔及儲存腔室上的每個儲存端口都不能單獨通風或抽氣，因為所有儲存端口共享同一個大真空室。取回 TEM 樣品架需要更長的時間，因為必須對整個腔室進行通風才能取回一個存放的 TEM 樣品架。

如果腔室上安裝了 EM-KLEEN 等離子體源，則可以使用 TEM 立方體對 TEM 樣品架和樣品進行等離子清洗。但 EM-KLEEN 等離子源只能接受一個氣體輸入。獨立的 Tergeo-EM 等離子清洗機最多可使用三種工藝氣體。TEM 立方體的排氣和抽氣時間也比獨立的 Tergeo-EM 等離子體系統(tǒng)長。Tergeo-EM 等離子系統(tǒng)還具有全自動作和更高的系統(tǒng)集成水平。

規(guī)格：

1. 極限真空度：10 -7 Torr 中

2. TEM 樣品架適配器：最多 8 個，每側(cè) 4 個。

3. 腔室尺寸：9 英寸 X 9 英寸 X 9 英寸。

4. 腔室門：帶鎖定旋鈕的鉸鏈玻璃窗。

5. 泵口：底部渦輪分子泵站為 ISO63。或 NW40/NW25 端口，用于干式渦旋泵。

6. NW40 或 NW25 端口，用于全量程壓力傳感器。

應(yīng)用：

1. 用于 TEM 樣品架、TEM 樣品和大型 EM 組件的高真空存儲。

2. 原位 TEM 樣品架和芯片泄漏檢查。

3. TEM 支架、樣品和組件的等離子清洗。

相關(guān)產(chǎn)品：

Tergeo-EM：集成的 TEM/SEM 等離子清洗劑，用于去除碳氫化合物污染和處理冷凍電鏡網(wǎng)格和原位芯片。