EM-KLEEN 遠(yuǎn)程等離子體源和控制器

全自動操作，最快的清洗速度，寬壓力范圍

EM-KLEEN等離子體清洗機(jī)可用于電子顯微鏡和其他類型分析儀器（如 SEM、FIB、TEM、XPS 和西姆斯）的樣品和真空室的原位清潔。它可以有效地去除高真空或超高真空室中的碳?xì)浠衔锖头蓟衔镂廴疚铮岣邩O限真空水平，減少抽氣時間。它還可以在表面成像和分析之前去除樣品表面上的有機(jī)污染物。該系統(tǒng)包括一個電阻式液晶觸摸屏控制器與嵌入式微計(jì)算機(jī)和遠(yuǎn)程等離子體源。應(yīng)在待清潔的真空室上安裝遠(yuǎn)程等離子體源。標(biāo)準(zhǔn)真空接口端口為 NW/KF 40 法蘭。可提供不同 SEM 端口的適配器。也可選擇 CF2.75″法蘭。

EM-KLEEN 是一種全自動等離子源。該設(shè)計(jì)直觀且通用。EM-KLEEN 遠(yuǎn)程等離子體源雖然體積小，但集成了皮拉尼壓力傳感器、電子可變氣體流量控制器、等離子體強(qiáng)度傳感器、溫度傳感器和冷卻風(fēng)扇。流量控制器自動調(diào)節(jié)氣體流速，以達(dá)到等離子體源內(nèi)部的配方指定壓力。該控制器可以存儲多達(dá) 60 個配方，具有不同的射頻功率，工作壓力，氣體流速和清潔持續(xù)時間。不需要手動調(diào)整不同的配方。微型壓力傳感器持續(xù)監(jiān)測樣品室壓力。它可在安全操作模式下用作安全聯(lián)鎖觸發(fā)器，并為 SmartSchedule™功能計(jì)數(shù)樣品加載事件。冷卻風(fēng)扇可實(shí)現(xiàn)長時間高功率運(yùn)行。等離子體強(qiáng)度傳感器實(shí)時測量等離子體強(qiáng)度，用戶不再對等離子體狀態(tài)視而不見。

通過壓力傳感器、自動氣體流量控制器、等離子傳感器、溫度傳感器和帶嵌入式微處理器的 LCD 觸摸屏控制器的協(xié)同工作，EM-KLEEN 原位等離子清洗機(jī)可以自動維護(hù)您的系統(tǒng)，并防止?jié)撛诘挠脩翦e誤。PIE Scientific 開發(fā)的 SmartClean™技術(shù)結(jié)合了核研究和半導(dǎo)體行業(yè)中開發(fā)的等離子體源設(shè)計(jì)技術(shù)。EM-KLEEN 等離子清洗機(jī)遠(yuǎn)比市場上類似的遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)先進(jìn)。此外，許多功能僅在我們的產(chǎn)品上提供。

EM-KLEEN等離子體清洗機(jī)功能列表

• 石英源體電感耦合等離子體源設(shè)計(jì)。在市場上同類產(chǎn)品中清洗速度最快。

• 低壓高效等離子體放電技術(shù)起源于勞倫斯伯克利國家實(shí)驗(yàn)室開展的研究工作

• 在極低的壓力下瞬間等離子點(diǎn)火。用戶無需擔(dān)心等離子體是否會點(diǎn)燃。無需手動調(diào)節(jié)旋鈕即可點(diǎn)燃 EM-KLEEN 上的等離子體。

• 電子式氣體流量控制器，可自動調(diào)節(jié)氣體流量，達(dá)到配方規(guī)定的操作壓力。無需調(diào)節(jié)旋鈕來改變氣體流速。

• 用于等離子體強(qiáng)度監(jiān)測的等離子體強(qiáng)度傳感器。當(dāng)用戶調(diào)整射頻功率和工作壓力時，提供實(shí)時反饋。它還幫助控制器了解等離子體狀態(tài)，從而提供智能和全自動調(diào)節(jié)。

• 0-75 13.56MHz 時的射頻功率。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)節(jié)。

• 帶有觸摸屏用戶界面的微型計(jì)算機(jī)。

• 通過 RS232/RS485 協(xié)議的直觀遠(yuǎn)程 PC 控制用戶界面。

• 智能的“安全操作模式"和“專家操作模式"，帶有用戶自定義的警告信息。一個非常有用的功能，如果電子或離子顯微鏡是由許多沒有經(jīng)驗(yàn)的用戶共享。

• 微型計(jì)算機(jī)上可定制的 SmartScheule 功能可以自動照顧您的系統(tǒng)。

• 支持 60 個可定制的配方，具有不同的射頻功率瓦數(shù)，等離子管壓力，氣體流速和清潔持續(xù)時間。

• 主動式風(fēng)扇冷卻，實(shí)現(xiàn)高功率高速清潔。

• 超溫聯(lián)鎖保護(hù)。

• 易于攜帶的控制器。該系統(tǒng)可以很容易地在不同的系統(tǒng)之間移動。