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AT410 經濟型原子層沉積設備具備諸多優勢：為占地小的桌面系統，尺寸明確；有新增功能可用的空心陰極射頻源（AT - 410 Plus 配 300W 等離子）

ANRIC推出了目前市場上占地面積最小的原子層沉積（ALD）設備。AT200M 經濟型原子層沉積設備型號體積小巧，足以放入手套箱內，因此成為對濕氣或空氣敏感的沉積工藝的理想解決方案。