6020 型是一款針對(duì)先布線型面板級(jí)*封裝（PLP）及大尺寸玻璃面板曝光市場需求而設(shè)計(jì)的大面積全自動(dòng)生產(chǎn)型掩模對(duì)準(zhǔn)器或自動(dòng)泛光曝光系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用 OAI *的光束光學(xué)技術(shù)，配備 1KW-8KW 功率的紫外光源，光束尺寸覆蓋 12 英寸 ×12 英寸至 20 英寸 ×20 英寸，提供均勻度≤3%-5% 的光束。在掩模對(duì)準(zhǔn)模式下，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)≤2.0μm 的光刻分辨率。

• 高精度對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：可選配 Smart cam 高分辨率 CCD 相機(jī)系統(tǒng)，結(jié)合 OAI 圖案識(shí)別軟件，實(shí)現(xiàn)精確的頂面自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)和便捷操作。

• 靈活的基板處理能力：支持從超薄到超厚及鍵合面板等多種基板厚度，基板卡盤具備 XYZ 軸及 θ 角運(yùn)動(dòng)功能，含步進(jìn)功能，可處理整版或拼接在大面板上的子面板。

• 自動(dòng)化集成方案：采用機(jī)器人上下料系統(tǒng)，可獨(dú)立運(yùn)行或與光刻膠處理設(shè)備集成。

• 工藝穩(wěn)定性保障：OAI 6020 系列在性能、可靠性和重復(fù)性方面優(yōu)秀表現(xiàn)，是先布線型面板級(jí)封裝生產(chǎn)及大面積玻璃面板曝光的理想選擇。