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KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)

簡要描述:KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)它使用多通道檢測和基于規(guī)則的缺陷分類,對(duì)不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石和其他化合物半導(dǎo)體材料)提供微粒和劃痕檢測。 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)采用了專有的OSA(光學(xué)表面分析儀)架構(gòu),可以同時(shí)測量散射強(qiáng)度、形貌變化、表面反射率和相位變化,從而對(duì)各種關(guān)鍵缺陷進(jìn)行自動(dòng)檢測與分類。

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:表面缺陷檢測系統(tǒng)

更新時(shí)間:2025-05-09

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)可以檢測不透明、半透明和透明晶圓(包括玻璃、單面拋光藍(lán)寶石、雙面拋光藍(lán)寶石)的表面缺陷和微粒;滑移線;砷化鎵和磷化銦的凹坑和凸起;表面haze map;以及鉭酸鋰、鈮酸鋰和其他先進(jìn)材料的缺陷。KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)用于化合物半導(dǎo)體工藝控制(晶圓清潔、外延前后)。其先進(jìn)的多通道設(shè)計(jì)提供了比單通道技術(shù)更高的靈敏度。CS20R配置的光學(xué)器件經(jīng)過優(yōu)化,可用于檢測化合物半導(dǎo)體材料,包括光敏薄膜。

 

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)


功能

  • 檢測直徑達(dá)200毫米不透明、半透明和透明化合物半導(dǎo)體材料上的缺陷

  • 手動(dòng)模式支持掃描不規(guī)則晶圓

    支持各種晶圓厚度

  • 適用于微粒、劃痕、凹坑、凸起和沾污等宏觀缺陷

 

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)


應(yīng)用案例

  • 襯底質(zhì)量控制

  • 襯底供應(yīng)商對(duì)比

  • 入廠晶圓質(zhì)量控制(IQC)

  • 出廠晶圓質(zhì)量控制(OQC)

  • CMP(化學(xué)機(jī)械拋光工藝)/拋光工藝控制

  • 晶圓清潔工藝控制

  • 外延工藝控制

  • 襯底與外延缺陷關(guān)聯(lián)

  • 外延反應(yīng)器供應(yīng)商的對(duì)比

  • 工藝機(jī)臺(tái)監(jiān)控

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統(tǒng)

行業(yè)

  • 包括垂直腔面發(fā)射激光器在內(nèi)的光子學(xué)

  • LED

  • 通信(5G、激光雷達(dá)、傳感器)

  • 其他化合物半導(dǎo)體器件

選項(xiàng)

  • SECS-GEM

  • 信號(hào)燈塔

  • 金剛石劃線

  • 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)

  • 離線軟件

  • 光學(xué)字符識(shí)別(OCR)

  • CS20R配置用于檢測光敏薄膜

 

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